镀膜真空泵的工作原理是将扩散泵油加热至沸腾，气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射，扩散泵的四周有冷却水管或者水套，将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好，会向真空室返油，哪是异常表现说明冷却不好，原因可能是水压不够或者水管内有阻塞，然后真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

    真空泵可以分分子真空泵和分子真空泵两个大的种类，然后又可以细分三个小种类，下面我们开始介绍。

 

    一、分子真空泵：

 

    它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：

 

    (1)牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

 

    (2)涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。

 

    (3)复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

 

    二、:喷射真空泵：

 

    它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：

 

    (1)液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

 

    (2)气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

 

    (3)蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

 

    通过对镀膜真空泵的工作原理，可以分为分子真空泵和分子真空泵两个大的种类，然后又可以细分三个小种类我们了解了他们的工作原理，但每种的种类工作原理，可以再细分。